Twinscan High-NA EUV tức Twinscan EXE 5000 là cỗ máy sản xuất chip hiện đại nhất, mạnh và đắt nhất do ASML tạo ra. Intel là đơn vị đầu tiên sở hữu cỗ máy này. Mới đây, Intel đă ‘khoe’ quá tŕnh vận chuyển và lắp đặt cỗ máy này.
Twinscan High-NA EUV, nặng gần 150 tấn, được đóng trong 250 thùng hàng. Và để vận chuyển từ Hà Lan sang Mỹ cần một chiếc máy bay chở hàng cỡ lớn. Sau đó chúng tiếp tục được vận chuyển bằng các xe container đến nhà máy Intel ở Portland, Oregon. Tại đây, các thành phần sẽ được 250 kỹ sư của Intel và ASML lắp ráp. Theo dự kiến, việc lắp ráp cỗ máy này diễn trong ṿng 6 tháng.
Khi Twinscan High-NA EUV lắp ráp hoàn chỉnh, các kỹ sư ASML và Intel vẫn cần vài tuần, có thể là vài tháng để hiệu chỉnh. Khi đi vào sản xuất, cỗ máy có thể sẽ tạo ra các mẫu chip hiện đại nhất.
Khi lắp ráp hoàn chỉnh, cỗ máy này có chiều cao bằng 3 tầng nhà. V́ kích thước như thế này, Intel đă phải mở rộng nhà máy để có chỗ đặt cỗ máy này.
Nhờ đặt hàng sớm, Intel đă vượt qua cả TSMC và Samsung để sở hữu cỗ máy Twinscan EXE:5000 sớm nhất. Hai đơn vị đến từ châu Á sẽ phải đợi vài năm nữa mới nhận được cỗ máy này dù họ đă đặt hàng ASML.
Hiện tại, tập đoàn Hà Lan cũng đang phải gấp rút sản xuất hàng chục máy để phục vụ các fab và các tập đoàn gia công bán dẫn đă đặt hàng trên toàn thế giới. Năm 2022, ASML đưa ra mục tiêu, đến năm 2027, 2028, họ sẽ sản xuất hoàn chỉnh được 20 máy scan High NA EUV mỗi năm.